| 发明名称 |
OPTICAL CONFIGURATION MEASURING INSTRUMENT FOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH112512(A) |
申请公布日期 |
1999.01.06 |
| 申请号 |
JP19970154023 |
申请日期 |
1997.06.11 |
| 申请人 |
SUPER SILICON KENKYUSHO:KK;KURODA PRECISION IND LTD |
发明人 |
ABE KOZO;IGUCHI NOBUAKI |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B11/245;G01B11/30;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/30 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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