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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH113870(A) 申请公布日期 1999.01.06
申请号 JP19970152707 申请日期 1997.06.10
申请人 SONY CORP 发明人 YAMAMOTO ATSUHIKO
分类号 H01L27/148;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/266 主分类号 H01L27/148
代理机构 代理人
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