异常输出操作中的部件输送方法

摘要

在半导体晶片盒移动式输送机器人的操作中发生异常输出操作时在设备之间开始半导体晶片盒直接部件输送的方法。在移动式输送机器人的异常输出操作的部件输送方法中,移动式输送机器人移动到一个设备,在接收到异常输出的操作命令以后,移动式输送机器人与该设备之间的光通信开始,确定移动式输送机器人与该设备之间的异常输出操作是否可能,并且在异常输出操作可能时,预定的部件被吸住并由第一位置输送到第二位置。

主权项

1．一种在异常输出操作中输送部件的方法，包括以下步骤：将移动式输送机器人移动到一个设备；接收执行所述异常输出操作的命令；在移动式输送机器人与设备之间进行通信；确定所述移动式输送机器人与所述设备之间的所述异常输出操作是否可能；以及当异常输出操作可能时，部件被吸住并由所述设备的第一位置输送到第二位置。