发明名称 DUAL LASER VOLTAGE PROBING FOR IC
摘要
申请公布号 JPH112667(A) 申请公布日期 1999.01.06
申请号 JP19980065834 申请日期 1998.03.16
申请人 SCHLUMBERGER TECHNOL INC 发明人 WILSHER KENNETH R;RAJAN SURESH N;LO WILLIAM K
分类号 G01R31/302;G01R31/311;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/302 主分类号 G01R31/302
代理机构 代理人
主权项
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