发明名称 用于检测半导体器件测试设备操作错误的方法
摘要 本发明涉及一种用于检测用以确定待测半导体器件是好还是失效的测试系统的测试设备操作错误的方法。本方法包括周期性地把数据输入到器件的步骤及检查能否读出原封不动的数据,以检测该测试设备的操作错误。
申请公布号 CN1204056A 申请公布日期 1999.01.06
申请号 CN97121820.X 申请日期 1997.11.28
申请人 三星电子株式会社 发明人 金宇进;郭朱锡;金庆桓;方郑浩
分类号 G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 谢丽娜
主权项 1.一种用于检测用以确定待测半导体器件是好还是失效的测试系统的测试设备操作错误的方法,所述方法包括步骤:(a)把待测半导体器件装到和电连接到测试设备上;(b)借助于该测试设备的运行把电测试信号输入到该器件中;(c)把从该器件的输出值与预定的期望值进行比较,以确定该器件是好还是失效,并相应地使之进行分类;以及(d)把数据输入到该器件且检查是否能取回原封不动的数据,以检测该测试设备的操作错误。
地址 韩国京畿道