发明名称 Method of producing semiconductor wafers
摘要
申请公布号 US3078549(A) 申请公布日期 1963.02.26
申请号 US19590801618 申请日期 1959.03.24
申请人 SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 WENDE WALTER
分类号 B28D5/00;B28D5/02;H01L21/00 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
主权项
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