| 发明名称 |
Photoactive systems for high resolution photolithography |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0810477(A3) |
申请公布日期 |
1998.12.30 |
| 申请号 |
EP19970303497 |
申请日期 |
1997.05.22 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
PALMER, SHANE R. |
| 分类号 |
G03F7/038;G03F7/039;G03F7/095;G03F7/20;G03F7/26;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/095 |
主分类号 |
G03F7/038 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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