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发明名称 Field oxide fabrication
摘要
申请公布号 GB2326761(A) 申请公布日期 1998.12.30
申请号 GB19980008647 申请日期 1998.04.24
申请人 * HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 SE AUG * JANG;YOUNG BOG * KIM;IN SEOK * YEO;JONG CHOUL * KIM
分类号 H01L21/316;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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