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发明名称 Multilayer wiring
摘要
申请公布号 GB2326765(A) 申请公布日期 1998.12.30
申请号 GB19980013799 申请日期 1998.06.25
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 TATSUYA * USAMI;HIDEMITSU * AOKI;YASUAKI * TSUCHIYA;SHINYA * YAMASAKI
分类号 H01L21/302;H01L21/033;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/312;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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