发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR THE COATING OF WORKPIECES
摘要
申请公布号 EP0886880(A1) 申请公布日期 1998.12.30
申请号 EP19960937963 申请日期 1996.11.22
申请人 BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 BRAENDLE, HANS;KIND, BRUNO
分类号 C23C14/02;C23C14/24;C23C14/32;C23C14/50;C23F4/00;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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