| 发明名称 |
A method for analyzing defects in a semiconductor device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2299450(B) |
申请公布日期 |
1998.12.30 |
| 申请号 |
GB19960006291 |
申请日期 |
1996.03.26 |
| 申请人 |
* HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. |
发明人 |
NAM IL * LEE |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L27/10;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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