| 发明名称 |
CLEANING WAFER SUBSTRATES OF METAL CONTAMINATION WHILE MAINTAINING WAFER SMOOTHNESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0886547(A1) |
申请公布日期 |
1998.12.30 |
| 申请号 |
EP19970910817 |
申请日期 |
1997.10.07 |
| 申请人 |
MALLINCKRODT BAKER, INC. |
发明人 |
SKEE, DAVID, C.;SCHWARTZKOPF, GEORGE |
| 分类号 |
B08B3/04;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/50;C11D11/00;(IPC1-7):B08B3/04;B08B3/14;B08B7/00;C03C23/00 |
主分类号 |
B08B3/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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