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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR DRYING AND CLEANING OBJECTS USING AEROSOLS
摘要
申请公布号 EP0886548(A1) 申请公布日期 1998.12.30
申请号 EP19970916750 申请日期 1997.03.13
申请人 ALL IN ONE MICROSERVICE, INC. 发明人 FERRELL, GARY, W.;SPENCER, THOMAS, D.
分类号 B08B3/10;B08B3/12;F26B5/00;F26B5/02;F26B21/14;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B08B5/00 主分类号 B08B3/10
代理机构 代理人
主权项
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