| 发明名称 |
Sampler for plasma probe detection |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL117567(A) |
申请公布日期 |
1998.12.27 |
| 申请号 |
IL19960117567 |
申请日期 |
1996.03.20 |
| 申请人 |
ENI A DIVISION OF ASTEC AMERICA, INC. |
发明人 |
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| 分类号 |
H05H1/46;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/00;(IPC1-7):H05H1/24 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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