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发明名称 Automatic semi-conductor wafer scriber
摘要
申请公布号 US3094785(A) 申请公布日期 1963.06.25
申请号 US19600077770 申请日期 1960.12.20
申请人 KULICKE & SOFFA MFG. CO. 发明人 JR. FREDERICK W. KULICKE,
分类号 B28D5/00;H01L21/00 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
主权项
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