发明名称 Verfahren zur Korpuskularstrahl-Prüfung von Substraten für Flüssigkeitskristallanzeigen (LCD)
摘要
申请公布号 DE59209561(D1) 申请公布日期 1998.12.24
申请号 DE19925009561 申请日期 1992.07.13
申请人 ETEC EBT GMBH, 85622 FELDKIRCHEN, DE 发明人 BRUNNER, MATTHIAS, DR., W-8011 KIRCHHEIM, DE;SCHMITT, REINHOLD, DIPL.-ING., W-8000 MUENCHEN 83, DE
分类号 G01R31/302;G01R31/305;G01R31/308;(IPC1-7):G01R31/305 主分类号 G01R31/302
代理机构 代理人
主权项
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