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发明名称 Herstellung eines leitenden Gebietes in elektronischen Vorrichtungen
摘要
申请公布号 DE69226411(T2) 申请公布日期 1998.12.24
申请号 DE19926026411T 申请日期 1992.09.24
申请人 AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US 发明人 FELDMAN, LEONARD CECIL, BERKELEY HEIGHTS, NEW JERSEY 07922, US;HIGASHI, GREGG SUMIO, BASKING RIDGE, NEW JERSEY 07920, US;MAK, CECILIA YINSI, BEDMINSTER, NEW JERSEY 07921, US;MILLER, BARRY, MURRAY HILL, NEW JERSEY 07974, US
分类号 H01L21/28;C23C18/31;H01L21/288;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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