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发明名称 Kathodenanordnung für eine Vorrichtung zum Zerstäuben eines Targets
摘要
申请公布号 DE59600828(D1) 申请公布日期 1998.12.24
申请号 DE19965000828 申请日期 1996.04.18
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 HANAU, DE 发明人 SZCZYRBOWSKI, JOACHIM, DR., 63773 GOLDBACH, DE;MARQUARDT, DIETER, 63526 ERLENSEE, DE
分类号 H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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