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发明名称 Positionsgeber zur Erfassung der Lage eines Licht- oder Teilchenstrahls
摘要
申请公布号 DE4332859(C2) 申请公布日期 1998.12.24
申请号 DE19934332859 申请日期 1993.09.27
申请人 HEIMANN OPTOELECTRONICS GMBH, 65199 WIESBADEN, DE 发明人 HENNERICI, WOLFGANG, DR.RER.NAT., 55218 INGELHEIM, DE;BRUNST, GERHARD, DR.RER.NAT., 65232 TAUNUSSTEIN, DE;HOLZENKAEMPFER, ENNO, DR.RER.NAT., 65232 TAUNUSSTEIN, DE
分类号 G01B11/03;G01D5/26;H01L27/144;(IPC1-7):G05D3/12;H01L27/14 主分类号 G01B11/03
代理机构 代理人
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