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发明名称
摘要
申请公布号 JP2841583(B2) 申请公布日期 1998.12.24
申请号 JP19890308762 申请日期 1989.11.28
申请人 FUJITSU KK 发明人 UESUGI HIROYUKI;HIGASHIMOTO MASAYUKI
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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