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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer niedergeschlagenen kristalliner Schicht
摘要
申请公布号 DE3752203(T2) 申请公布日期 1998.12.24
申请号 DE19873752203T 申请日期 1987.04.13
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HIRAI, YUTAKA, HIKONE-SHI SIGA-KEN, JP
分类号 C23C16/04;C23C16/24;C23C16/44;C30B25/18;H01L21/20;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
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