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发明名称 Method for thermally etching silicon surfaces
摘要
申请公布号 US3102061(A) 申请公布日期 1963.08.27
申请号 US19600000653 申请日期 1960.01.05
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 THORNHILL JAY W.
分类号 C01B33/02;H01L21/306;H01L21/3065 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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