发明名称 | 旋转靶柱型磁控溅射器 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种旋转靶柱型磁控溅射器,它包括支承架,靶组件,特征是把磁组件的极靴制成闭合回路极靴,磁钢置于极靴的闭合槽内,用薄壁不锈钢管,把上述磁组件密封成一个略短于靶管的磁组件,外表包复有溅射材料的空心铜靶管,心轴通过动密封组件,及引出驱动组件布置在底座上,心轴与靶管通过松套法兰连接。本实用新型的优点是:更换靶材方便,靶材利用率高,膜层纯洁。 | ||
申请公布号 | CN2301452Y | 申请公布日期 | 1998.12.23 |
申请号 | CN97216822.2 | 申请日期 | 1997.04.30 |
申请人 | 浙江大学 | 发明人 | 王德苗;任高潮 |
分类号 | C23C14/35 | 主分类号 | C23C14/35 |
代理机构 | 浙江大学专利代理事务所 | 代理人 | 张法高 |
主权项 | 1.一种旋转靶柱型磁控溅射器,它包括支承架,靶组件,其特征在于所说的靶管组件包括磁组件、靶管,磁组件具有极靴[34],极靴一侧面开有椭圆形磁钢沉孔[34a],与它相对的另一侧面开有导水管沉槽[34b],表面镀复防锈的镍层,该极靴的左端焊上一个不锈钢左端轴头[32],该轴头的右侧开有一个水腔[32a],左侧为空心凸台,左端轴头空心凸台上设有横销钉[31],极靴[34]的右端焊上一个带凸台的不锈钢右端轴头[39];极靴磁钢沉孔[34a]中布置永久磁钢[38],磁钢的顶部粘贴一条纯铁半圆形匀磁片[37],极靴与磁钢的间隙中充填塑料间隔片[44],极靴导水管沉槽[34b]中焊上一个两端开口的导水铜管[35],上述组件的外周包封一个薄壁不锈钢管[36],制成密封式磁组件[I]上述磁组件的左端轴头[32]上套上一个带回水斜孔的聚四氟乙烯滑块[30],右端轴头[39]上配合一个防锈的向心推力轴承[40],将磁组件同轴地布置在靶管[33]内,靶管右端设有盲法兰[43],盲法兰一端带轴承孔,另一端带凸台,盲法兰与靶管一端部之间设有密封圈[41],盲法兰用拼紧螺帽[42]固定在靶管上,靶管另一端用松套法兰[28],密封圈[29],固定密封在心轴[27]一端带锥形内孔的法兰[27a]上。 | ||
地址 | 310027浙江省杭州市玉古路20号 |