发明名称 只读存储器结构及其制造方法
摘要 一种只读存储器结构,包括:一表面具有一第一绝缘层的基底;一导体层,形成于该第一绝缘层上,且经蚀刻成为多条沿第一方向平行相隔的导体线;一第二绝缘层,填满这些导体线之间;一第三绝缘层,形成于上述各层表面上;及一作格子排列的半导体层,其形成于该第三绝缘层上,并分为沿大致垂直该第一方向的第二方向平行相隔的多条位线,及沿该第一方向平行相隔且连接各位线的通道区,其中这些通道区的位置重叠于这些导体线上。
申请公布号 CN1202738A 申请公布日期 1998.12.23
申请号 CN97112725.5 申请日期 1997.06.16
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 温荣茂
分类号 H01L27/112;H01L21/8246 主分类号 H01L27/112
代理机构 柳沈知识产权律师事务所 代理人 杨梧
主权项 1.一种只读存储器结构,包括:一表面具有一第一绝缘层的基底;一导体层,形成于该第一绝缘层上,且经蚀刻成为多条沿第一方向平行相隔的导体线;一第二绝缘层,填满这些导体线之间;一第三绝缘层,形成于上述各层表面上;及一作格子排列的半导体层,其形成于该第三绝缘层上,并分为沿大致垂直该第一方向的第二方向平行相隔的多条位线,及沿该第一方向平行相隔且连接各位线的通道区,其中这些通道区的位置重叠于这些导体线上。
地址 台湾省新竹科学工业园区