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发明名称 Use of cleaning plate for semiconductor fabricating device
摘要
申请公布号 EP0416645(B1) 申请公布日期 1998.12.23
申请号 EP19900117281 申请日期 1990.09.07
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 KAMATA, YUTAKA
分类号 H01L21/677;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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