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发明名称 A wafer basket for containing semiconductor wafers
摘要
申请公布号 EP0530053(B1) 申请公布日期 1998.12.23
申请号 EP19920307927 申请日期 1992.09.01
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED;SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD. 发明人 OGINO, NOBUYOSHI;YAJIMA, TOSHITSUGU
分类号 B65D21/02;B65D43/02;B65D45/18;B65D85/00;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00;B65D43/10 主分类号 B65D21/02
代理机构 代理人
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