Process-chamber flow control system,申请号EP19980100282-传众专利搜索

发明名称	Process-chamber flow control system
摘要
申请公布号	EP0853266(A3)	申请公布日期	1998.12.23
申请号	EP19980100282	申请日期	1992.03.13
申请人	PALMER, DAVID W.	发明人	PALMER, DAVID W.
分类号	F16K31/12;F16K31/126;F24F3/16;F24F7/06;F24F11/04;F24F11/047;G05D7/00;G05D7/01;G05D7/06;G05D16/10;(IPC1-7):G05D7/01	主分类号	F16K31/12
代理机构		代理人
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