晶圆夹持器之安装装置

摘要

本创作系一种晶圆夹持器之安装装置，该安装装置主要系设有一基座，于基座之一端固设一定位座，该定位座具有一容置槽，而该晶圆夹持器系由复数个固定块、复数片夹持片及复数片垫片等元件所组成；当欲组装晶圆夹持器时，系先将一固定块锁固在基座上，再一一组装固定块、夹持片及垫片，使夹持片及垫片分别固定在复数个固定块之间，而在组装时，该等夹持片之吸附端系位于定位座之容置槽内，藉由该容置槽之定位，使每一夹持片之垂直及水平方向皆能对准，且在每二夹持片间所形成之空隙放置一电木片，使螺栓在锁固固定块时，能令每一夹持片间之空隙都保持相同，藉由上述之结构，俾使每一夹持片吸附端上之真空吸附孔均能对准，并藉产生均匀之吸力以精确地吸附住所欲夹持之晶圆。

主权项

1.一种晶圆夹持器之安装装置,该晶圆夹持器主要 包括有 复数个固定块、复数片夹持片及复数片垫片等元 件所组成 ,俾将该等元件放置在安装装置上组装,其安装装 置包括 有:一基座;一定位座,该定位座系固设于基座之一 端, 其并具有容置槽;如上述之结构,即将一固定块藉 由锁固 元件固设在基座上,嗣后,再将复数个固定块、复 数片夹 持片及复数片垫片组装在一起,组装时,将该等夹 持片作 为吸附住晶圆之一端置于定位座之容置槽内定位, 且在每 二夹持片之间放置一电木片,当将所有之固定块、 夹持片 及垫片组装完毕后,即藉由锁固元件将该等固定块 锁固在 一起,而使夹持片及垫片固定在固定块之间,此时, 即可 将与基座锁固在一起之固定块之锁固元件松开,并 将放置 在二夹持片之间之电木片拿掉,而组装完成一晶圆 夹持器 。2.如申请专利范围第1项所述之晶圆夹持器之安 装装置, 其中,该锁固元件系可为螺栓。图式简单说明:第 一图系 本创作之立体分解图。第二图系本创作之一夹持 片之剖面 示意图。第三图系本创作之组装示意图。