| 主权项 |
1.一种自动保管棚架,用搬运车搬运,而且使收藏将 多片 板状工件排成单一方向并收藏之箱形晶舟之收藏 盒入库而 暂时保管后,再自该收藏盒取出该晶舟移载到该搬 运车后 出库;其特征在于包括:保管棚架,具有该收藏盒出 入之 一个出入库口而且具有收藏该收藏盒之该棚架部; 机械手 臂,搬运该收藏盒,在该保管棚架之该出入库口行 走并将 该收藏盒移载到该棚架部或取出;开闭机构,开闭 停留在 该出入库口之前之该收藏盒;以及控制部,依据预 设之该 收藏盒之出入库时程进行该收藏盒之出库或入库, 使该空 的收藏盒停留在该出入库口之前。2.如申请专利 范围第1项之自动保管棚架,其中应收藏该 空的收藏盒之该棚架部位于接近该出入库口之该 保管棚架 内。3.如申请专利范围第1项及第2项之自动保管棚 架,其中该 工件系半导体基板之晶片。4.如申请专利范围第1 项及第2项之自动保管棚架,其中该 工件系曝光装置之光罩。5.一种自动保管方法,其 特征在于:将依据该出入库时程 搬来之该晶舟收藏在预先于在出入库口前之该空 的收藏盒 ,将收藏该晶舟之该收藏盒保管在该保管棚架后, 将该保 管棚架所保管之其他的该收藏盒搬到该出入库口, 打开该 收藏盒,取出该晶舟,将该空的收藏盒留在该出入 库口前 。6.一种自动保管方法,其特征在于:将依据该出入 库时程 将该保管棚架所保管之该收藏盒搬到该出入库口 后,打开 该收藏盒,取出该晶舟,将该空的收藏盒留在该出 入库口 前,而将搬来之其他的该晶舟收藏在该空的收藏盒 ,保管 在该保管棚架。图式简单说明:第一图系用以说明 本发明 之自动保管棚架之一实施例之立体图及模式剖面 图。第二 图系用以只说明收藏盒往第一图之自动保管棚架 之出入库 动作之流程图。第三图系表示系收藏盒往第一图 之自动保 管棚架之出入库时程之搬运要求表。第四图系用 以说明依 据第三图之搬运要求表之第一图之自动保管棚架 之动作之 流程图。第五图系用以说明系晶舟往第一图之自 动保管棚 架之出入库动作之自动保管方法之实施例之流程 图。第六 图系用以说明习知之自动保管棚架及自动保管方 法之一例 之立体图。 |
