| 发明名称 |
Method for fusing and flattening boron-phosphureted silicate glass film |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG55249(A1) |
申请公布日期 |
1998.12.21 |
| 申请号 |
SG19960011509 |
申请日期 |
1996.12.04 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
TATSUNARI TOSHITAKA |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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