| 发明名称 |
Loading and unloading station for semiconductor processing installations |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG55102(A1) |
申请公布日期 |
1998.12.21 |
| 申请号 |
SG19960006296 |
申请日期 |
1996.03.27 |
| 申请人 |
JENOPTIK AG |
发明人 |
SCHULZ ALFRED;MAGES ANDREAS;SCHNEIDER HEINZ;BLASCHITZ HERBERT;SCHELER WERNER |
| 分类号 |
B65D85/86;B65G1/00;B65G49/00;B65G49/07;H01L21/00;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B65D85/86 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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