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发明名称 Wafer position error detection and correction system
摘要
申请公布号 SG55349(A1) 申请公布日期 1998.12.21
申请号 SG19970002461 申请日期 1997.07.14
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 FREERKS, FREDERIK, W.;BERKEN, LLOYD, M.;CRITHFIELD, M., UENIA;SCHOTT DAVID;RICE MICHAEL;HOLTZMAN MICHAEL;REAMS WILLIAM;GILJUM RICHARD;RIENKE LANCE;BOOTH, JOHN, S.
分类号 H01L21/677;H01L21/00;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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