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发明名称 Abrasive composition and use of the same
摘要
申请公布号 SG55368(A1) 申请公布日期 1998.12.21
申请号 SG19970003156 申请日期 1997.08.28
申请人 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED. 发明人 SAKATANI YOSHIAKI;UEDA KAZUMASA;TAKEUCHI YOSHIAKI
分类号 C04B35/111;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/321;(IPC1-7):C09K3/14;H01L21/304 主分类号 C04B35/111
代理机构 代理人
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