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发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH10335251(A)
申请公布日期
1998.12.18
申请号
JP19970136417
申请日期
1997.05.27
申请人
HITACHI LTD;KOKUSAI ELECTRIC CO LTD
发明人
KAWADA HIROKI;WATANABE TOMOJI;TSUMAKI NOBUO;MIYATA TOSHIMITSU
分类号
H01L21/22;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
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