| 发明名称 |
DETECTING METHOD FOR OBJECT TO BE INSPECTED |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10332594(A) |
申请公布日期 |
1998.12.18 |
| 申请号 |
JP19970138714 |
申请日期 |
1997.05.28 |
| 申请人 |
BUNSHI BAIOHOTONIKUSU KENKYUSHO:KK |
发明人 |
SUGA TAKAYUKI;TAKAMOTO HISANOBU;OSUGA SHINJI;TSUJI AKIHIKO |
| 分类号 |
G01N21/64;G01N21/78;G01N33/533;(IPC1-7):G01N21/78 |
主分类号 |
G01N21/64 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
