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经营范围
发明名称
CLEANING EQUIPMENT AND METHOD
摘要
申请公布号
JPH10335283(A)
申请公布日期
1998.12.18
申请号
JP19980088876
申请日期
1998.04.01
申请人
EBARA CORP
发明人
MAEKAWA TOSHIRO
分类号
B08B1/04;B08B3/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
B08B1/04
代理机构
代理人
主权项
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