发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH10335478(A) 申请公布日期 1998.12.18
申请号 JP19980131856 申请日期 1998.05.14
申请人 ST MICROELECTRON SRL 发明人 STUCCHI ELENA;DAFFRA STEFANO;CEREDA MANLIO SERGIO
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/329;H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/06;H01L29/8605;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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