发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10335478(A) |
申请公布日期 |
1998.12.18 |
申请号 |
JP19980131856 |
申请日期 |
1998.05.14 |
申请人 |
ST MICROELECTRON SRL |
发明人 |
STUCCHI ELENA;DAFFRA STEFANO;CEREDA MANLIO SERGIO |
分类号 |
H01L27/04;H01L21/02;H01L21/329;H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/06;H01L29/8605;(IPC1-7):H01L21/823 |
主分类号 |
H01L27/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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