发明名称 METHOD AND CIRCUIT FOR COMPENSATING PERFORMANCE DISPERSION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 JPH10335591(A) 申请公布日期 1998.12.18
申请号 JP19970146732 申请日期 1997.06.04
申请人 NEC CORP 发明人 SAITO TATSUYA
分类号 H01L21/822;G05F3/24;G06F1/26;H01L21/82;H01L27/04;H01L29/78;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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