发明名称 |
INSPECTING APPARATUS AND METHOD |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH10335404(A) |
申请公布日期 |
1998.12.18 |
申请号 |
JP19970147731 |
申请日期 |
1997.06.05 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KATAYAMA SANENORI;MUGIBAYASHI TOSHIMITSU;MIYAZAKI YOKO |
分类号 |
G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/28 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|