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发明名称
STRUCTURE OF METALLIC WIRING OF SEMICONDUCTOR DEVICE, AND FORMING METHOD OF THE METALLIC WIRING
摘要
申请公布号
JPH10335519(A)
申请公布日期
1998.12.18
申请号
JP19980050416
申请日期
1998.03.03
申请人
LG SEMICON CO LTD
发明人
ZON SHON PARK
分类号
H01L23/12;H01L21/28;(IPC1-7):H01L23/12
主分类号
H01L23/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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