发明名称 STRUCTURE OF METALLIC WIRING OF SEMICONDUCTOR DEVICE, AND FORMING METHOD OF THE METALLIC WIRING
摘要
申请公布号 JPH10335519(A) 申请公布日期 1998.12.18
申请号 JP19980050416 申请日期 1998.03.03
申请人 LG SEMICON CO LTD 发明人 ZON SHON PARK
分类号 H01L23/12;H01L21/28;(IPC1-7):H01L23/12 主分类号 H01L23/12
代理机构 代理人
主权项
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