发明名称 HIGH ELECTRON MOBILITY TRANSISTOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10335638(A) 申请公布日期 1998.12.18
申请号 JP19970147697 申请日期 1997.06.05
申请人 SHARP CORP 发明人 TAKAHASHI SUNAO
分类号 H01L21/265;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/778 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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