发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10335476(A) 申请公布日期 1998.12.18
申请号 JP19970145090 申请日期 1997.06.03
申请人 SONY CORP 发明人 EJIRI YOICHI
分类号 H01L21/8224;H01L27/082;(IPC1-7):H01L21/822 主分类号 H01L21/8224
代理机构 代理人
主权项
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