发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH10335310(A) 申请公布日期 1998.12.18
申请号 JP19970141286 申请日期 1997.05.30
申请人 SONY CORP 发明人 TAKATOKU MASATO
分类号 H01L21/302;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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