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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10335643(A) 申请公布日期 1998.12.18
申请号 JP19970147926 申请日期 1997.06.05
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 UCHIUMI TAKAYOSHI
分类号 H01L21/336;H01L29/08;H01L29/423;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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