| 发明名称 |
ELECTRON GUN OF ION-PLASMA TYPE AND METHOD FOR MANUFACTURING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10332898(A) |
申请公布日期 |
1998.12.18 |
| 申请号 |
JP19970137107 |
申请日期 |
1997.05.27 |
| 申请人 |
SUMITOMO HEAVY IND LTD |
发明人 |
SUEZAWA HIROKI;KUMADA YUKIO |
| 分类号 |
G21K5/04;G21K5/00;G21K5/10;H01J33/04;H01J37/073;(IPC1-7):G21K5/04 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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