发明名称 ELIMINATING STICTION WITH THE USE OF CRYOGENIC AEROSOL
摘要 <p>L'invention concerne un procédé d'élimination du frottement statique dans des microstructures. On exerce sur la partie de cette microstructure soumise à un frottement statique une force suffisante pour libérer cette partie de la microstructure soumise à un frottement statique, ladite force étant exercée par l'intermédiaire d'un aérosol cryogénique renfermant des particules solides d'un agent chimique non réactif.</p>
申请公布号 WO1998057364(A1) 申请公布日期 1998.12.17
申请号 US1998012227 申请日期 1998.06.11
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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