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发明名称 Hochreine Titan-Aufstäube-Targets
摘要
申请公布号 DE69414526(D1) 申请公布日期 1998.12.17
申请号 DE19946014526 申请日期 1994.09.20
申请人 JAPAN ENERGY CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SAWADA, SUSUMU, C/O JAPAN ENERGY CORPORATIO, TOKYO, JP;FUKUYO, HIDEAKI, C/O ISOHARA PLANT, KITAIBARAKI-SHI, IBARAKI-KEN, JP;NAGASAWA, MASARU, C/O ISOHARA PLANT, KITAIBARAKI-SHI, IBARAKI-KEN, JP
分类号 C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34;C23C14/14 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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