| 发明名称 |
Method and apparatus for dry vapor generation |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0874193(A3) |
申请公布日期 |
1998.12.16 |
| 申请号 |
EP19980113092 |
申请日期 |
1995.04.18 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
EBBING, PETER F.;CHUC, KIEN N. |
| 分类号 |
B01D1/30;F22B1/28;F28F19/01;H01L21/304;(IPC1-7):F22B1/28 |
主分类号 |
B01D1/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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