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发明名称
摘要
申请公布号 JP2838570(B2) 申请公布日期 1998.12.16
申请号 JP19900063362 申请日期 1990.03.14
申请人 TOKYO EREKUTORON KK 发明人 MATSUMURA KIMIHARU;SAKAI HIROYUKI
分类号 H01L21/30;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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