| 摘要 |
1. Тонкопленочный полупроводниковый газовый сенсор, содержащий оформированный на подложке из теплоэлектроизолирующего материала газочувствительный элемент, средство нагрева упомянутого элемента, средства контроля температуры нагрева, электрические контакты, оформированные на противоположных концах газочувствительного элемента и присоединенный к ним с помощью проводников прибор для съема показаний, отличающийся тем, что средство нагрева газочувствительного элемента расположено в зоне одного электрического контакта, а средства контроля температуры расположены в зонах каждого электрического контакта, при этом в качестве прибора для съема показаний с электрических контактов использован вольтметр.2. Сенсор по п.1, отличающийся тем, что зона газочувствительного элемента, расположенная вне зоны размещения нагревателя, выполнена изолированной от окружающей среды газонепроницаемым слоем диэлектрического материала.3. Сенсор по пп.1 и 2, отличающийся тем, что он дополнительно снабжен средством для подогрева всего газочувствительного элемента. |
